该不该阿斯麦公司先向美国交付极紫外光刻机 哪些信息值得关注
关于崇明岛阿斯麦公司先向美国交付极紫外光刻机 哪些信息值得关注期待您的回答,没有什么华丽的语言,但是我对你的感谢不会减少
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长安月下 2023.12.25 17:16:31 557人看过 分享到微博2024-03-19T07:48:44优秀经验
来自国际在线http://www.cri.cn/的优秀用户长安月下,于2023.12.25 17:16:31在经验百科知识平台总结分享了一篇关于“阿斯麦公司先向美国交付极紫外光刻机 哪些信息值得关注拿破仑”的百科,非常感谢长安月下的辛苦付出,他总结的解决技巧方法及常用办法如下:
简要回答
路透社在12月22日报道荷兰阿麦斯公司即将向美国英特尔公司交付其新型高数值孔径的极紫外光刻机,并且是优先交付。值得注意的是新型极紫外光刻机可以帮助计算机芯片制造商生产出更快更小的半导体。据了解每台新的机器成本会超过3亿美元,这台光刻机在组装后的体积要比卡车还大,所以阿麦斯公司选择将这台光刻机分成250个单独的货箱运送,其中还有13个大型集装箱。
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阿麦斯公司不久前也发布了这台机器的一部分在阿斯麦公司费尔德霍芬总部正在出发的照片,可以看到光刻机的一部分被放在了集装箱里面,在箱子周围还系着红丝带。阿麦斯公司发声明表示很兴奋,特别自豪可以将第1批高数值孔径的极紫外光刻机交付给英特尔公司。
路透社也报道这台机器预计在2026年或2027年开始用于商用芯片方面的制造。也有媒体报道阿麦斯公司计划在2024年生产10台2nm设备,英特尔公司已经采购了其中6台设备,阿麦斯公司未来几年时间计划将此类芯片制造设备的产能提高到每年20台。
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英特尔公司2022年订购第1台高数值孔径的试验机,其他已订购这款机器的芯片制造商包含美光、sk海力士、三星、台积电。阿麦斯公司曾在11月30日告诉记者,该公司预计在今年年底交付第1批试点工具。在公开资料中我们可以了解到NA数值孔径是光刻机,光学系统中一项重要指标,也直接决定光刻过程中的实际分辨率。

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当金属间距缩小至30nm以下之后,对应工艺节点就会超越5nm,低数值孔径光刻机的分辨率已经明显不够用了,只能通过曝光成型技术或者EUV双重曝光技术去辅助,但会增加成本,也会降低成品率,所以高素质孔径已经成为了必需品。

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